项目（成果）名称

第三代胎压监测系统（TPMS）用单片复合传感器芯片及其器件研发

项目编号

ZG2021025

负责人

周晨

验收方式

会议验收

验收结果

通过

主持验收

单位

温州市科学技术局高新处

验收时间

2024-12-02

完成单位

温州大学激光与光电智能制造研究院,浙江百岸科技有限公司

项目组成

员

郑蓓蓉,王权,吴振辉,毛天宇,曹鑫,史忠桧,江剑,潘哲浩

验

收

意

见

1、提供的资料基本齐全、规范，符合验收要求。
2、项目研发出新型的基于单硅片单面体微机械加工的单片集成复合传感器芯片，将多晶硅绝对压力传感器、热对流加速度传感器和温度传感器集成到一起，用同一种工艺实现该芯片在半导体生产线上兼容规模化输出，为低成本批量化生产提供了工艺保证。项目产品适用于胎压监测系统，经沈阳国仪检测技术有限公司（国家仪器仪表元器件质量检验检测中心）检测，所测指标符合项目合同书规定的技术指标要求。
3、相关技术已申请发明专利3件，授权实用新型专利3件，发表SCI论文3篇。
4、项目总经费预算300万元，其中：财政拨款45万元。经温州东成会计师事务所（普通合伙）专项审计（温东成专审字[2024]381号），实际经费支出347.14万元，其中：财政经费支出38.1万元，经费专款专用，使用合理。
验收专家组认为项目已完成合同规定的主要研究内容和指标，同意通过验收。